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詳細介紹
HORIBA質量流量控制器 HORIBA STEC專注于質量流量控制器的研究開發，服務于近乎藝術級的半導體制程，并持續不斷地制造各類產品，滿足用戶的各種需求。
多種配置選擇，通信模式可選擇數字/模擬，DeviceNet, CC-Link,和PROFIBUS.
兩種氣體管路接口到接口之間的尺寸規格供選擇：124 mm-和106mm- （W系列）
氣體流量控制范圍擴大到從10 SCCM到200 SLM。SEC-N100系列適用于各種需要氣體控制方面的應用。
特點：
高精度 高設定信號點精度
MFC的線性由多條近似曲線進行補償。這樣能確保在所有流量控制范圍內的高精度。為了改進針對實際氣體的精度，HORIBA STEC使用標準氣體測量系統測試各種制程中使用的氣體并取得測試數據。
精度：±1.0% S.P. : 30-100% F.S. ±0.3% F.S. : W30%F.S.
全流量范圍的高速相應
新的可變PID算法：1秒高速響應
。SEC-N100具有新研發的“可變PID系統"，能在1秒內對任何信號設定點進行響應?？勺?PID根據設定流量點位不斷修正計算，這樣當用戶改變滿量程和氣體種類時PID參數能得到優化。
多氣體，多量程的解決方案
附加的軟件可以讓用戶很容易地改變使用規格
新的多氣體，多量程系統使在用戶端自由改變氣體種類和使用量程范圍成為可能。
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