MFC流量控制器由傳感器,接入器,主機,監控設備,人機界面和節流閥(或者節流閥組)組成。傳感器收集流量等信息,通過接入器接入到主機,這個主機由可能是單片機,也可能是PC機,甚至可能是更高級的計算機。
MFC流量控制器是一個多孔板組合的聯動裝置,是目前國產較為可靠的解決動態水力平衡的元件。它由一個流量設定調節閥,即手動的可調孔板(相當于一個靜態平衡元件)和二個閥瓣及彈簧、膜片組成的動態調節裝置。即自動的可調孔板(相當于一個動態平衡元件)組成。
MFC流量控制器帶有結實本體,兩個連接法蘭,帶磁鐵和帶刻度的不同流程范圍的調節插板,密封條,帶電磁觸點的指針,電路系統連接器。液體或氣體從固定在直立方向的設備底部向上流動,從而推動可變顯示部分的調節插板的位置,并且可以通過觀察管道上有可視刻度線的部分,紅色刻度表示流速在某一個值上。通過這種方式可以讀取循環中的瞬時流量。
浸入流體內部的指示調節閥門,在沒有機械摩擦力的情況下可以自由移動,在內部所襯磁鐵產生的磁場作用下,電子報警觸點就會接觸。依靠開關上有基準指示的可移動指針,觸點的斷開與接觸由所檢測液體的流速來決定,并顯示在內部標簽上。
MFC流量控制器用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。