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傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導體生產工藝控制和監控,氣體純度和組成分析,環境有毒有害氣體監視和工業尾氣監視。
MultiGas? 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀由保護的2102傅利葉變換紅外制成分光計,高光通量取樣單元,專業分析軟件及獨立的定量光譜庫組成。MultiGas? 6030收集高分辨率的紅外光譜與定量光譜庫分析,提供絕大多數氣體及水蒸氣的高精度,高靈敏度測量。