詳細介紹
氫氣 (H2)
項目名稱 | 純度指標(%) | ||
氫氣 | ≥99.9999 | ≥99.999 | |
雜質含量(ppm)
| 氧氣(O2) | ≤0.2 | ≤1 |
水(H2O) | ≤1 | ≤3 | |
氮氣(N2) | ≤0.4 | ≤5 | |
一氧化碳(CO) | ≤0.1 | ≤1 | |
二氧化碳(CO2) | ≤0.1 | ≤1 | |
甲烷(CH4) | ≤0.2 | ≤1 |
包裝:采用40L、49L鋼瓶充裝,也可根據客戶需要分裝到8-10L的氣瓶中。
用途:半導體制造用平衡氣,蝕刻氣、標準氣、零點氣、校正氣、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、氣體燃料、石油精煉等。
理化性質: 有窒息性,有易燃易爆性。它是世界上已知的密度小的氣體,只有空氣的1/14,即在0 ℃時,一個標準大氣壓下,密度為0.0899 g/L。
注意事項:因為是易燃壓縮氣體,故應儲存于陰涼、通風的倉間內。倉內溫度不宜超過30℃。遠離火種、熱源。防止陽光直射。應與氧氣、壓縮空氣、鹵素(氟氣、氯氣、溴)、氧化劑等分開存放。切忌混儲混運。儲存間內的照明、通風等設施應采用防爆型,開關設在倉外,配備相應品種和數量的消防器材。禁止使用易產生火花的機械設備工具。驗收時要注意品名,注意驗瓶日期,先進倉的先發用。搬運時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。
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